Назад

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии CXF - это высоковакуумные насосы, ротор которых поддерживается за счет магнитной силы, они обеспечивают скорости откачки в диапазоне от 1200 л/с до 3200 л/с, рабочим давлением от 20 Па до 10-7 Па и с возможными типами входных фланцев ISO-F и CF.

Роторы турбомолекулярных насосов серии CXF имеют автоматическую систему балансировки по 5-ти осям в режиме реального времени. Контроллер насоса отслеживает дисбаланс и выдает динамический компенсирующий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу исключить возникновение вибраций и обеспечить его стабильную и надежную работу.

Роторы насосов изготовлены из соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению с роторами из алюминиевого сплава, роторы турбомолекулярных насосов серии CXFимеют значительно меньший вес и более высокую прочность, тем самым обеспечивая высокую скорость вращения, высокую производительность и высокую надежность.

Все насосы оснащены системой защиты от коррозии, поверхности деталей насосов обрабатываются по специальной технологии, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, опционально насосы могут оснащаться продувочным портом инертным газом (азотом) для защиты области низкого вакуума.

Дополнительно, для работы на тяжелых агрессивных процессах, таких как травление, разработана специальная хим.стойкая версия насосов CV, оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры для того чтобы в процессе работы в насосе не происходило осаждения и конденсации агрессивных газов на поверхностях насоса.

 

Модель

CXF-200/1401 CXF-200/1402 CXF-250/2301 CXF-250/2302 CXF-320/3001 CXF-320/3002
фото
Входной фланец DN200 ISO-F, ISO-K, CF200 DN250 ISO-F, ISO-K, CF250 DN320 ISO-F
Выхлопной фланец DN40 ISO-KF DN40 ISO-KF DN40 ISO-KF
Производительность по

N2

Ar

He

H2

 

1280 л/с

1100 л/с

880 л/с

560 л/с

 

1400 л/с

1300 л/с

1100 л/с

8200 л/с

 

2150 л/с

1900 л/с

1500 л/с

850 л/с

 

2360 л/с

2260 л/с

1980 л/с

1250 л/с

 

2950 л/с

2750 л/с

2300 л/с

1100 л/с

 

3260 л/с

2900 л/с

2550 л/с

1730 л/с

Степень сжатия по

N2

Ar

He

H2

 

> 108

> 108

> 104

> 103

 

> 108

> 108

> 104

> 103

 

> 108

> 108

> 104

> 103

 

> 109

> 109

> 104

> 103

Предельно остаточное давление 10-7 Па 10-7 Па 10-7 Па
Максимальное рабочее давление на выхлопе 2,66 мбар 2,66 мбар 2,66 мбар
Фланец продувки (опция) DN10 ISO-KF DN10 ISO-KF DN10 ISO-KF
Скорость вращения ротора 30000 об/мин 33000 об/мин 27000 об/мин 30000 об/мин 21000 об/мин 24000 об/мин
Время разгона ≤ 6 ≤ 7 ≤ 8 ≤ 9 ≤ 9 ≤ 10
Время остановки ≤ 8 ≤ 9 ≤ 11 ≤ 12 ≤ 12 ≤ 14
Тип охлаждения водяное водяное водяное
Электропитание 220В, 50Гц 220В, 50Гц 220В, 50Гц
Потребляемая мощность 1000 Вт 1500 Вт 1500 Вт
Масса 51 кг 60 кг 76 кг
Интерфейсы RS232/485, 37-pin Remote, Profibus RS232/485, 37-pin Remote, Profibus RS232/485, 37-pin Remote, Profibus
Габаритные размеры