Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии CXF - это высоковакуумные насосы, ротор которых поддерживается за счет магнитной силы, они обеспечивают скорости откачки в диапазоне от 1200 л/с до 3200 л/с, рабочим давлением от 20 Па до 10^-7 Па и с возможными типами входных фланцев ISO-F и CF.

Роторы турбомолекулярных насосов серии CXF имеют автоматическую систему балансировки по 5-ти осям в режиме реального времени. Контроллер насоса отслеживает дисбаланс и выдает динамический компенсирующий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу исключить возникновение вибраций и обеспечить его стабильную и надежную работу.

Роторы насосов изготовлены из соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению с роторами из алюминиевого сплава, роторы турбомолекулярных насосов серии CXFимеют значительно меньший вес и более высокую прочность, тем самым обеспечивая высокую скорость вращения, высокую производительность и высокую надежность.

Все насосы оснащены системой защиты от коррозии, поверхности деталей насосов обрабатываются по специальной технологии, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, опционально насосы могут оснащаться продувочным портом инертным газом (азотом) для защиты области низкого вакуума.

Дополнительно, для работы на тяжелых агрессивных процессах, таких как травление, разработана специальная хим.стойкая версия насосов CV, оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры для того чтобы в процессе работы в насосе не происходило осаждения и конденсации агрессивных газов на поверхностях насоса.

Модель	CXF-200/1401	CXF-200/1402	CXF-250/2301	CXF-250/2302	CXF-320/3001	CXF-320/3002
фото
Входной фланец	DN200 ISO-F, ISO-K, CF200		DN250 ISO-F, ISO-K, CF250		DN320 ISO-F
Выхлопной фланец	DN40 ISO-KF		DN40 ISO-KF		DN40 ISO-KF
Производительность по N2 Ar He H2	1280 л/с 1100 л/с 880 л/с 560 л/с	1400 л/с 1300 л/с 1100 л/с 8200 л/с	2150 л/с 1900 л/с 1500 л/с 850 л/с	2360 л/с 2260 л/с 1980 л/с 1250 л/с	2950 л/с 2750 л/с 2300 л/с 1100 л/с	3260 л/с 2900 л/с 2550 л/с 1730 л/с
Степень сжатия по N2 Ar He H2	> 108 > 108 > 104 > 103		> 108 > 108 > 104 > 103		> 108 > 108 > 104 > 103	> 109 > 109 > 104 > 103
Предельно остаточное давление	10-7 Па		10-7 Па		10-7 Па
Максимальное рабочее давление на выхлопе	2,66 мбар		2,66 мбар		2,66 мбар
Фланец продувки (опция)	DN10 ISO-KF		DN10 ISO-KF		DN10 ISO-KF
Скорость вращения ротора	30000 об/мин	33000 об/мин	27000 об/мин	30000 об/мин	21000 об/мин	24000 об/мин
Время разгона	≤ 6	≤ 7	≤ 8	≤ 9	≤ 9	≤ 10
Время остановки	≤ 8	≤ 9	≤ 11	≤ 12	≤ 12	≤ 14
Тип охлаждения	водяное		водяное		водяное
Электропитание	220В, 50Гц		220В, 50Гц		220В, 50Гц
Потребляемая мощность	1000 Вт		1500 Вт		1500 Вт
Масса	51 кг		60 кг		76 кг
Интерфейсы	RS232/485, 37-pin Remote, Profibus		RS232/485, 37-pin Remote, Profibus		RS232/485, 37-pin Remote, Profibus
Габаритные размеры