Компания "Лазерные компоненты" предлагает комплексные решения для высокотехнологичных производственных процессов микроэлектроники. Оборудование для микроэлектроники представляет собой тщательно подобранный портфель передовых технологий, охватывающий все ключевые этапы создания современных микроэлектронных компонентов и устройств – от обработки кристаллов до финальной сборки, контроля качества и обеспечения критически важных производственных сред.
Мы понимаем уникальные требования чистоты, точности и надежности микроэлектронной промышленности. Поэтому наше предложение включает не только основное технологическое оборудование, но и критически важные вспомогательные и вакуумные системы, а также сервисную поддержку для обеспечения бесперебойной работы вашего производства.
Ключевые направления:
Технологическое оборудование:
-
- Оборудование для кристального производства (Wafer Fab): Технологии для обработки кремниевых пластин и других полупроводниковых материалов.
- Оборудование для микросборки (Assembly): Решения для точного монтажа компонентов, упаковки кристаллов (Packaging) и создания межсоединений.
- Оборудование для инспекции и тестирования (Metrology & Testing): Системы для контроля качества на всех стадиях производства, включая дефектоскопию, измерения параметров и функциональное тестирование готовых изделий.
Вспомогательное оборудование:
-
- Чиллеры и термостаты: Прецизионные системы управления температурой для технологических процессов и оборудования, обеспечивающие стабильность и воспроизводимость.
- Скрубберы: Установки для эффективной очистки технологических выбросов и обеспечения соответствия экологическим нормам в чистых комнатах.
Вакуумное оборудование (Ключевое для процессов CVD, PVD, Etch, Implant и др.):
-
- Многофункциональные гелиевые течеискатели: Оборудование для точного обнаружения утечек в вакуумных системах и камерах.
- Спиральные вакуумные насосы (Scroll Pumps): Надежные, безмасляные насосы для создания чистого форвакуума.
- Ионные (магниторазрядные) насосы (Ion Pumps): Высоковакуумные насосы без движущихся частей, идеальные для сверхвысокого вакуума (СВВ) в аналитических системах и научных установках.
- Сухие вакуумные насосы для микроэлектроники (Dry Pumps): Безмасляные насосы различных типов (когтевые, винтовые), разработанные специально для работы с агрессивными и коррозионными технологическими средами (процессы Etch, CVD).
- Турбомолекулярные насосы (Turbomolecular Pumps): Высокоскоростные насосы для создания высокого и сверхвысокого вакуума, основа технологических кластеров.
- Безмасляные форвакуумные насосы промышленного применения для откачки больших объёмов: Мощные решения для задач грубой откачки больших камер и систем.
- Криогенные вакуумные насосы (Cryopumps): Насосы, использующие глубокое охлаждение для конденсации газов, обеспечивающие высокую скорость откачки в высоковакуумном диапазоне, особенно для инертных газов и водорода.
Сервис, техническое обслуживание и запчасти:
-
- Комплексная сервисная поддержка для всего спектра поставляемого оборудования: плановое техническое обслуживание (ТО), оперативный ремонт, диагностика неисправностей, консультации.
- Поставка оригинальных запасных частей и расходных материалов для минимизации простоев.
- Пуско-наладка и обучение персонала.
