Оборудование магнетронного напыления и газохимического осаждения тонких плёнок диэлектриков и металлов на пластинах 100, 150 и 200 мм. Высокая однородность и повторяемость процессов, низкая дефектность. Кассетная загрузка, ионная очистка перед напылением. Возможность интеграции нескольких процессных модулей в кластер.
На нашем сайте используются файлы cookie для обеспечения полноценного использования домашней страницы. Файлы cookie не используются для того, чтобы Вас лично идентифицировать. Продолжая использовать сайт, Вы соглашаетесь, что на Вашем устройстве сохраняются и используются файлы cookie. Вы можете в любой момент отозвать свое согласие, изменив настройки браузера и удалив сохраненные файлы cookie.
