Назад

Вакуумное оборудование

Вакуумными насосами принято называть устройства, предназначенные для создания так называемого технического вакуума в определённом объёме, что подразумевает откачку из него всех посторонних газовых сред. Создание технического вакуума в герметичных камерах наиболее востребовано в высокотехнологичных областях науки и промышленности, например таких как микроэлектроника. Выбор определённой модели вакуумного насоса или какой-либо комбинации вакуумного оборудования диктуется видом откачиваемых газов, необходимой пропускной способностью и степенью чистоты создаваемого вакуума. По этой причине для каждого конкретного применения существует своя конструкция вакуумного насоса, чем обусловлено большое разнообразие их видов. По основному принципу действия вакуумные насосы можно разделить на газоперемещающие, в которых откачиваемый газ просто выводится за пределы вакуумной камеры, и газопоглащающие (сорбционные), которые сохраняют откаченный объём газа. Газоперемещающие вакуумные насосы в свою очередь бывают объёмными, откачивающими газ порционно, и динамическими (кинетическими) действие которых беспрерывно. Кроме этого, по конструкционным признакам вакуумные насосы делятся на масленые (со смазкой деталей) и сухие (без смазки), для вакуумных применений, где недопустимы масленые испарения даже в небольшом количестве используются сухие вакуумные насосы. Ключевым параметром для всех видов вакуумных насосов является диапазон создаваемого рабочего давления, что подразумевает создание сверхвысокого вакуума (от 10-10 до 10-5мбар), высокого вакуума (от 10-4 до 10-1 мбар), среднего вакуума (от 10-1 до 10 мбар) и низкого вакуума (от 10 до 1000 мбар).

В нашем каталоге представлены следующие виды вакуумных насосов:

  • Спиральные вакуумные насосы, относящиеся к сухому типу. Работа этого вида насосов основана на прокачке газа через закрученное по спирали пространство. Такие насосы часто используются на охлаждающем оборудовании совместно с турбомолекулярными насосами.
  • Ионные (магниторазрядные) насосы. В таких насосах откачка газа осуществляется путём его предварительной ионизации с последующим удалением ионизированных молекул электрическим полем. Эти насосы обычно применяются для создания высокого и сверхвысокого вакуума.
  • Вакуумные насосы когтевого и винтового типов в комбинации с насосом Рутса. Это сухие вакуумные насосы специально предназначенные для промышленных линий по производству микроэлектроники.
  • Турбомолекулярные вакуумные насосы, откачка газа в которых происходит за счёт высокоскоростного вращения лопастей, продвигающих тем самым молекулы газа к выходному каналу.
  • Криогенные вакуумные насосы. В основу их действия заложен принцип заморозки газовых смесей с последующей их абсорбцией. Это высоковакуумный тип насосов, отличающийся высокой производительностью.
  • Промышленные форвакуумные сухие насосы, где откачка газа осуществляется за счёт его предварительного разрежения. Эти насосы используются при прокачке больших объёмов газа.

Помимо самих вакуумных насосов нами также предлагается дополнительное оборудование для определения герметичности вакуумных камер и поиска утечек – это многофункциональные гелевые течеискатели.