Ионные (магниторазрядные) насосы

Ионный насос - это тип вакуумного насоса, который работает путем распыления металлического геттера. В идеальных условиях ионные насосы способны достигать давления до 10^-11 мбар. Ионный насос сначала ионизирует газ внутри объема, к которому он подключен, и использует сильный электрический потенциал, обычно 3-7 кВ, который ускоряет ионы в твердый электрод.

Ионные насосы компании SKY специально разработаны и применяются в различных научно-исследовательских институтах и промышленном оборудовании, где требуется создание сверхвысокого вакуума (UHV). Насосы применяются также в сверхвысоковакуумных приборах и устройствах, ускорителях частиц, источниках синхротронного излучения, исследованиях мощных лазеров, электронных микроскопах, масс-спектрометрах и в других областях.

Компания SKY Technology Development Co., Ltd. CAS (SKY), основана в 1958 году, всегда придерживается принципа, ориентированности на людей, и передовые технологии. Продукция экспортируется в различные страны и регионы. Компания с полувековой историей, которая организовала творческие и совместные научные группы, создала высокую отправную точку и технологическую платформу высокого стандарта, стала современным предприятием, которое объединяет исследования и научные разработки, производство, продажи и сервисное обслуживание вакуумного оборудования.

Компания SKY накопила богатый опыт в вакуумной промышленности. Еще в 1990 году компания успешно разработала 3-ступенчатый ионный насос, который мог достигать вакуум вплоть до 10^-9 Па. После двух десятилетий разработок с постоянным применением новых технологий и концепций дизайна SKY представила новое поколение ионных насосов в 2014 году.

Новое поколение ионных насосов при меньших размерах и меньшем весе достигает более низкое предельное давление, чем аналогичные зарубежные продукты.

Насосы обеспечивают откачку воздуха или инертного газа без вибрации. Диапазон производительности насосов от 3 л/с до 1000 л/с и может быть настроен по индивидуальному заказу с конкретными требованиями.

	Высоковольтный Электрод ▲Специальный изоляционный материал, обладает стойкостью к высокому давлению и высокой температуре ▲Специальная конструкция анти-фрагментации и защиты от утечек, чтобы продлить срок службы насоса ▲Оснащен устройством блокировки, при отключении не выдается высокое напряжение, обеспечивая безопасную работу		Уплотнения и Процедура Обработки ▲Высокотемпературная сверхвысоковакуумная дегазация ▲Испытательное оборудование соответствует национальном стандартам ▲Специальное откачное оборудование для ионного насоса, обеспечивает стабильность качества массового производства ионных насосов
	Высоковольтный Кабель ▲Высокомолекулярный материал изолированного проводника, радиационная стойкость, хорошие изоляционные свойства ▲Высоковольтная защитная блокировка, автоматическая защита при отключении питания, обеспечивает безопасную работу ▲Конструкция экрана внешнего слоя из нержавеющей стали, повышает прочность, эффективно предотвращает утечку тока		Откачной Модуль ▲Используется материал из соединения Ti/Ta скорость откачки инертных газа намного выше, чем у обычных двухступенчатых насосов ▲Оптимизация конструкции насосного модуля, более компактная внутренняя структура ▲Более стабильный разряд ионного тока в сверхвысоковакуумной среде
	Устройство для отжига ▲Четыре нагревательные панели из нержавеющей стали окружают конструкцию для обеспечения равномерного отжига ▲Достижение наилучшего эффекта при наиболее экономичных эксплуатационных расходах		Корпус Насоса и Покрытие ▲Инновационный дизайн структуры корпуса насоса из нержавеющей стали, значительно снижает вес насоса ▲Антикоррозийное покрытие всего насоса обеспечивает возможность откачки различных коррозионных газов и устойчивость к высоким температурам, что продлевает срок службы в суровых рабочих условиях
	Анодная Трубка ▲Оптимальные формы, размер и массив анодной трубки ▲Максимальный электроразряд и скорость откачки ▲Минимальный размер и вес ▲99% керамика на основе оксида алюминия ▲Уровень изоляции достигает nA ▲Уменьшенное накопленное напыление проводящего покрытия		Магнитная Система ▲Специальное покрытие для устойчивости к высоким температурам, коррозии и хорошим показателям ▲Оптимизированная конструкция магнитной цепи, повышенная эффективность магнитного потока, предотвращая утечки паразитного магнитного поля

Испытание на предельное давление на примере sip400asl	Анализ остаточного газа на примере sip400asl	Испытание производительности на примере SIP200ASL	Схема распределения магнитного поля на примере SIP400ASL

Модели и технические параметры ионных насосов

Модель	SIP001	SIP005	SIP010	SIP025	SIP050
Фото
Производительность по N2 (л/с) при давлении 10-5 Па	1	5	10	25	50
Предельно остаточное давление(Па) (при температуре окружающей среды ≤25℃)	≤1.0×10-6	≤5.0×10-7	≤1.0×10-8	≤1.0×10-8	≤8.0×10-9
Давление запуска (Па)	≤1×10-3	≤1×10-3	≤1×10-3	≤1×10-3	≤1×10-3
Входной фланец	CF16	CF40	CF40	CF40	CF100
Напряжение на аноде (кВ)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)
Температура отжига (℃)	≤300	≤300	≤300	≤300	≤300
Мощность встроенного нагревателя (кВт)	——	——	——	——	0.2
Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В)	114×54×56	143×79×81	221.5×94×126	173×134×206.5	246×156×237
Масса (кг)	1.2	2.5	8.5	12.5	22

Модель	SIP075	SIP100	SIP200	SIP400	SIP500
Фото
Производительность по N2 (л/с) при давлении 10-5 Па	75	100	200	400	500
Предельно остаточное давление(Па) (при температуре окружающей среды ≤25℃)	≤3.0×10-9	≤3.0×10-9	≤2.0×10-9	≤2.0×10-9	≤3.0×10-9
Давление запуска (Па)	≤1.0×10-3	≤1.0×10-3	≤1.0×10-3	≤1.0×10-3	≤1.0×10-3
Входной фланец	CF63	CF100	CF150	CF150	CF150
Напряжение на аноде (кВ)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)
Температура отжига (℃)	≤300	≤300	≤300	≤300	≤300
Мощность встроенного нагревателя (кВт)	0.28	0.28	0.62	0.68	0.8
Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В)	296×163×308	296×163×308	442×155.6×444.5	442×246×444.5	447×328×444.5
Масса (кг)	35	35	60	95	130

Модель	SIP500T	SIP600	SIP1000	SIP1500	SIP2000
Фото
Производительность по N2 (л/с) при давлении 10-5 Па	850	600	1000	1500	2000
Предельно остаточное давление(Па) (при температуре окружающей среды ≤25℃)	≤6.0×10-10(с LN2)	≤2.0×10-9	≤2.0×10-9	≤2.0×10-9	≤2.0×10-9
Давление запуска (Па)	≤1.0×10-3	≤1.0×10-3	≤1.0×10-3	≤1.0×10-3	≤1.0×10-3
Входной фланец	CF150	CF200	CF200	CF200	CF250
Напряжение на аноде (кВ)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)	≤+7 (DC)
Температура отжига (℃)	≤300	≤300	≤300	≤300	≤300
Мощность встроенного нагревателя (кВт)	0.8	0.8	1.2	2	3
Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В)	447×578×444.5	492×328×451.5	512×582×451.5	512×382×950	550×620×950
Масса (кг)	138	138	224	300	450

Кривые сокростей откачки по Азоту	Кривые сокростей откачки по Аргону	Кривые давления и ионного тока

Контроллер ионных насосов

Характеристики:

1. Интерактивный интерфейс

Оснащен 4,3" цветным сенсорным экраном, все функциональные кнопки имеют сенсорное управление, просты и удобны в эксплуатации.

2. Высокая мощность, компактный размер и простота интеграции

Достижение высокой мощности, компактного размера и высокой интеграции с мощностью до 200 Вт и небольшим размером, значительно экономит занимаемое пространство.

3. Несколько режимов управления

Оснащен режимом дистанционного управления, включающим RS232 /RS485 ASCII, RS485 Mod-bus, I/O и другие разнообразные режимы управления.

4. Многофункциональный дисплей

Отображение рабочих параметров: рабочего напряжения, ионного тока, степени вакуума и других данных на сенсорном экране.

5. Гибкая конфигурация параметров

Оснащен функцией настройки параметров для различных требований эксплуатации, подходит для всех серий ионных насосов.

6. Функция защиты

Оснащен функциями защиты от перегрузки по току, перегрева, короткого замыкания, дуги и другими методами автоматической защиты, что обеспечивает высокую надежность контроллера.

Габаритные размеры