Назад

Установки диффузии

Автоматизированные установки для проведения термических процессов, таких как диффузия примесей, оксидирование и т.д. Печи с вертикальной загрузкой, подходят для пластин 150 и 200 мм. Высокая однородность нагрева по пластине и высокая повторяемость.