Установка нанесения, проявления и сушки фоторезиста

Установки кластерного типа с роботизированной рукой, позволяющих проводить все вспомогательные операции с фоторезистом на участках литографии. Работа с пластинами максимального размера 100 и 150 мм. Возможность удаления краевого валика, отмывки обратной стороны и кассетной загрузки