Скрубберы

Газовые скрубберы предназначены для очистки отработанных газов в полупроводниковом производстве от опасных составляющих.
Типы скрубберов:
- Сухой
- Сухой каталитический
- Водяной
- Термический дожиг и водяной
- Плазменный дожиг и водяной