Криогенный вакуумный насос представляет собой разновидность высоковакуумных насосов, в котором используется принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции.
Криогенный вакуумный насос применяется с целью получения как глубокого вакуума от 10-3 Па так и получения сверхвысокого вакуума до 10-9 Па и особенно подходит для применений, требующих безмасляной и быстрой откачки. Насосы обеспечивают скорость откачки по воздуху от 1500 л/с до 57000 л/с.
Криогенные вакуумные насосы широко используются в процессах производства полупроводников, интегральных схем, оптических покрытий, солнечных панелей, плоских дисплеев, оптоэлектронных устройств и вакуумных электронных устройств. Это один из ключевых компонентов технологического оборудования для производства интегральных схем методом PVD и ионной имплантации, а также установок имитации космического пространства, физика высоких энергий, ускорители, калибровка и других.
Преимущества криогенных вакуумных насосов:
Криогенные вакуумные насосы выпускаются в двух модификациях:
|
Модель |
CP200
ICP200 |
CP200N
ICP200N |
CP250
ICP250 |
CP250N
ICP250N |
CP320
ICP320 |
CP320N
ICP320N |
| фото |   |
  |
  |
 |
  |
  |
| Входной фланец | DN200 ISO-K
CF200 ANSI 8 in |
DN250 ISO-K
CF250 ANSI 10 in |
DN320 ISO-K
CF320 ANSI 12 in |
|||
| Предельное остаточное давление | 10-7 Па | 10-7 Па | 10-7 Па | |||
| Производительность по
H2O Воздуху H2 Ar |
4000 л/с 1500 л/с 2200 л/с 1200 л/с |
6500 л/с 2200 л/с 3200 л/с 1800 л/с |
9500 л/с 3200 л/с 5400 л/с 2800 л/с |
|||
| Емкость по
Ar H2 |
1000 ст.л 12 ст.л |
1600 ст.л 16 ст.л |
2000 ст.л 22 ст.л |
|||
| Время захолаживания | менее 100 мин | менее 100 мин | менее 150 мин | |||
| Масса | 21,5 кг (CP200)
22,0 кг (CP200N) 26,5 кг (ICP200) 27,0 кг (ICP200N) |
27,0 кг (CP250)
23,5 кг (CP250N) 30,0 кг (ICP250) 28,5 кг (ICP250N) |
33,5 кг (CP320)
27,5 кг (CP320N) 38,5 кг (ICP320) 32,5 кг (ICP320N) |
|||
| Габаритные размеры | 397x240x521 мм (CP200)
440х264х564 мм (CP200N) 397х238х575 мм (ICP200) 459х264х618 мм (ICP200N) |
422x290x539 мм (CP250)
460х275х608 мм (CP250N) 422x290x539 мм (ICP250) 473х275х661 мм (ICP250N) |
462х370х550 мм (CP320)
481х299х683мм (CP320N) 462х370х602 мм (ICP320) 502х299х736 мм (ICP320N) |
|||
| Модель гелиевого компрессора | C50W
4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц |
C50W
4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц |
C50W
4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц |
|||
| Количество подключаемых насосов | до 3 | до 2 | до 2 | |||
|
Модель |
CP400 | ICP400 | CP500 | ICP500 | CP630 |
| фото |   |
  |
  |
  |
  |
| Входной фланец | DN400 ISO-K
ANSI 16 in |
DN500 ISO-K
ANSI 20 in |
DN630 ISO-K | ||
| Предельное остаточное давление | 10-7 Па | 10-7 Па | 10-7 Па | ||
| Производительность по
H2O Воздуху H2 Ar |
16000 л/с 6000 л/с 9000 л/с 5000 л/с |
30000 л/с 10000 л/с 14000 л/с 8400 л/с |
46000 л/с 18000 л/с 14000 л/с 13500 л/с |
||
| Емкость по
Ar H2 |
2500 ст.л 25 ст.л |
5500 ст.л 40 ст.л |
6000 ст.л 65 ст.л |
||
| Время захолаживания | менее 180 мин | менее 210 мин | менее 180 мин | ||
| Масса | 58,5 кг (CP400)
63,5 кг (ICP400) |
80,5 кг (CP500)
85,5 кг (ICP500) |
58,5 кг (CP400)
63,5 кг (ICP400) |
||
| Габаритные размеры | 502х450х610 мм (CP400)
502х450х663,5 мм (ICP400) |
552x550x605 мм (CP500)
552x550x659 мм (ICP500) |
-- | ||
| Модель гелиевого компрессора | C100W
5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц |
C100W
5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц |
C100W
5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц |
||
|
Модель |
CP800 | CP1000LN | CP1250LN |
| фото |  |
|
|
| Входной фланец | DN800 ISO-K | DN1000 ISO-K | DN1250 ISO-K |
| Предельное остаточное давление | 10-7 Па | 10-7 Па | 10-7 Па |
| Производительность по
H2O Воздуху H2 Ar |
70000 л/с 28000 л/с 30000 л/с 23000 л/с |
110000 л/с 40000 л/с 34000 л/с 32000 л/с |
180000 л/с 57000 л/с 60000 л/с 47000 л/с |
| Емкость по
Ar H2 |
6500 ст.л 70 ст.л |
7000 ст.л 80 ст.л |
9000 ст.л 150 ст.л |
| Время захолаживания | менее 240 мин | менее 240 мин | Менее 330 мин |
| Расход жидкого азота | - | 16 л/ч | 20 л/ч |
Ваша заявка отправлена
Ваш отзыв получен.
